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常见问题

  • 01 出现分子泵过流?;す收闲藕旁趺窗??

    分子泵过流?;し治铀僦泄鞅;び牒闼僭诵兄泄鞅;ち街智榭?,应分别诊断:
    1)加速中过流?;?/strong>
     可能情况:系统漏气、真空度较差
     检测方法及建议:
     1)观察分子泵前级真空度是否优于10Pa;
     2)用检漏仪对系统进行整机检漏,确保系统无漏;
     3)确保系统漏率在允许范围内且前级优于10Pa后重启分子泵。
    2)恒速运行中过流?;?/strong>
     可能情况:分子泵运行中负载突变
     检测方式及建议:
     1)观察系统真空度变化过程;
     2)若出现较明显变化(如10-4Pa降至10-1Pa),则会出现过流?;で榭?。

  • 02 出现分子泵过热?;す收闲藕旁趺窗??

    分子泵在运转过程中需要进行冷却,分风冷和水冷两种。应分别诊断:
    (1)水冷分子泵
             可能情况1:水流量、水压、水温、环境温度异常
             检测方法及建议1
             1)检查水流量是否大于1L/min,水压是否高于0.15MPa;
             2)水温是否低于25℃,环境温度是否低于40℃;
             3)上述条件如不满足,建议客户改善外部环境,从而保证设备正常运行。
             可能情况2:分子泵水路堵塞
             检测方法及建议2
             1)正常通水的情况下,将出水管拔出,检查水流情况,判断堵塞的严重程度;
             2)若属于一般堵塞(出水量大约为进水量的1/2),建议增大水压或采用压缩空气冲洗水路;
             3)若属于重度堵塞(出水量不足进水量的1/3)且冲洗无效,建议返厂维修。
             可能情况3:热继电器损坏
             检测方法及建议3:
             1)报警后,?;?~3小时(保持冷却),用万用表测量分子泵热继电器阻值;
             2)8芯产品测量6、8脚,12芯产品测量5、6脚,若继电器损坏,属于开路状态;
             3)热继电器损坏时,建议返厂维修。
    (2)风冷分子泵
             可能情况1:环境温度异常
             检测方法及建议1
             环境温度是否低于35℃,若不满足,建议用户改善外部环境,以保证分子泵正常运行;
             可能情况2:热继电器损坏
             检测方法及建议2
             1)报警后,?;?~3小时,用万用表测量热继电器器阻值;
             2)8芯产品测量6、8脚,12芯产品测量5、6脚,若继电器损坏,属于开路状态;
             3)热继电器损坏时,建议返厂维修。
             可能情况3:风扇未运转、导线故障
             检测方法及建议3
             1)查看风扇能否正常运转,并根据具体情况选择是否更换风扇;
             2)检查风扇供电线是否有断路或许虚接,以保证供电正常。
             可能情况4:控制器风扇插座无电压输出
             检测方法及建议4:
             用万用表测量风扇插座输出电压是否正常,并根据具体情况进行修复。
             可能情况5:电缆线故障
             检测方法及建议5
             测量电缆线导线是否有虚接、断路等情况,并及时修复,然后即可正常使用。
             可能情况6:控制器损坏
             检测方法及建议6
             1)将分子泵端电缆线与泵脱开,短接6、8脚(8芯泵)或5、6脚(12芯泵); 
             2)闭合控制器电源开关,如果控制器显示过热报警,建议返厂维修。
     

  • 03 出现分子泵过载?;す收闲藕旁趺窗??

    分子泵过载?;し治卣髌德使睾推渌德使乇;ち秸徘榭?,应分别诊断:
    (1)特征频率过载
             可能情况:轴承损坏、叶片卡死、碎泵
             检测方式及建议:
             1)油润滑分子泵,润滑油短时间变黑;换油后短时间再次变黑说明轴承损坏;
             2)油润滑分子泵,转动供油锥;脂润滑分子泵转动叶片,如果可以转动但手离开后马上停止或有明显的迟滞现象,说明轴承损坏;如果不能转动,说明叶片卡死或碎泵;
             3)上述情况,建议返厂维修。
    (2)其它频率过载
             可能情况1:分子泵加速中长期漏气,电流过大
             检测方法及建议1
             1)观察分子泵前级真空度是否优于10Pa;
             2)用检漏仪对系统进行整机检漏,确保系统漏率在允许范围内;
             3)确保系统漏率在允许范围内且前级优于10Pa后重启分子泵。
             可能情况2:前级真空度偏低
             检测方法及建议2
             测量分子泵前级口真空度,确保优于10Pa,并无漏气后,再次启动分子泵。
             可能情况3:前级阀损坏
             检测方法及建议3
             取下前级阀进行检测,如损坏则更换。
             可能情况4:电缆线故障
             检测方法及建议4:
             测量电缆线导线本身是否有虚接、断路等情况,并及时修复,然后正常启动分子泵。
             可能情况5:控制程序问题
             检测方法及建议5
             查看控制器工作频率与所使用分子泵是否一致,若不匹配,建议将控制器返厂维修。

  • 04 FD-K分子泵控制器故障代码都是什么含义?

    FD-K电源故障代码
    E001 加速中过流
    E003 恒速运行过流
    E004 加速中过压
    E011 散热器过热
    E013 变频器过载
    E014 电机过载
    E015 外部设备故障
    E016 EEPROM读写错误
    E017 RS485通讯错误
    E019 变频器程序损坏
    E020 CPU错误
    E022 外部给定故障

  • 05 FD-II(B)、TCDP-II分子泵控制器故障代码都是什么含义?

    FD-II(B)、TCDP-II控制器故障代码
    故障代码 故障类型
    ERR 按键错误?;?/td>
    OC 控制器短路?;?/td>
    OL2 分子泵过流?;?/td>
    SL 分子泵过载?;?/td>
    OE 控制器过压?;?/td>
    LU 控制器欠压?;?/td>
    ESP 分子泵过热?;?/td>
    OH 控制器过热?;?/td>

  • 06 扫描电镜更换灯丝后看不到像怎么办?

    可能原因:灯丝对中不好,电子束没有打下来

    处理方法:更换完灯丝,拉开V1,加高压,加对比度,亮度放在合适位置,加灯丝电压,使束流饱和,这时没有信号,调节电对中无作用,这时要将电对中X、Y放在"0"附近。为了大致确定离子束偏向那边,三个螺钉先调那一个,是向下调还是向上调,首先要在三个螺钉的部位用双手按压几下,如果按压时,屏幕突然亮了,用内六角扳手调节按压附近的螺钉,屏幕上有信号,将亮度、对比度调节适当,再依次调节每一个螺钉,观察图像最亮。然后再调节电对中X、Y,使图像在最亮处。

  • 07 扫描电镜图像模糊不清,且像散很大,调节消像散不能有效消除怎么办?

    可能原因:光阑或镜筒受污染
    (1)物镜光阑污染需要高温清洗或更换;
    (2)镜筒污染严重,需要清洗;
    处理方法:
    (1)先调节物镜光阑杆更换光阑,调节消像散至图像清晰;
    (2)如上述方法失效,说明镜筒污染,需进行维护保养,清洗维护。
    补充说明:
          通常情况下,电子束斑是圆形的,由于电子光学镜筒轻微污染或光阑污染,电子束斑呈椭圆形,消像散器用于修正这个椭圆形斑束。
             
                         图1-欠聚焦                                                      图2-过聚焦

                         图3-正聚焦

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